四甲基氢氧化铵

  • 英文:Tetramethylammonium hydroxide
  • CAS号:75-59-2
  • 别名:显影液;四甲基氢氧化铵溶液;TMAH;TMAOH
  • 化学式:C4H13NO
  • 分子量:91.15
  • 其他参数:1835

产品详情

外观

无色结晶(常含三、五等结晶水),熔点68-71℃,极易吸潮,在空气中能迅速吸收二氧化碳,130℃时分解为甲醇和三甲胺,通常使用有10%;25%水(或醇)溶液和含结晶水化合物。

理化特性

密度: 1.016 (25% 水溶液) 

折射率 :1.3806

储存

储存于阴凉、干燥、通风的库房,保持容器密封

储存条件:2-8°C


用途

在有机硅片生产中常用作光亮剂、清洗剂和触刻剂等;在电路板的印刷和显微镜片的制造中,可作为集成电路板的清洗剂和半导体微加工中的各向异性腐蚀剂。用作CMP过程清洗剂、IC.vlsi及TFI-LCD正胶显影剂。用作极谱试剂。

安全

1、建议应急处理人员佩戴自吸过滤式防毒面具,穿耐酸碱防护服,戴氟橡胶手套。操作处置应在具备局部通风或全面通风换气设施的场所进行。避免眼和皮肤的接触,避免吸入蒸汽。

2、搬运时要轻装轻卸,防止包装及容器损坏。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。

包装规格

200KG/塑桶  |  1000KG/塑桶

质量标准

含量w/%:25%(水溶液)  |  25%(甲醇溶液)

可定制AR、CP、电子级、电镀级特定含量产品

指标:协商定制


BZY033 – 2019  四甲基氢氧化铵

指标名称


特定级


含量,w / %


≥25.0


碳酸盐(以CO3计),w / %


≤0.05


氯化物(Cl),w / %

甲醇,w / %


≤0.001

≤0.03


钠(Na),w / %

镁(Mg),w / %

钾(K),w / %

钙(Ca),w / %

铁(Fe),w / %


≤0.000 1

≤0.000 1

≤0.000 1

≤0.000 1

≤0.000 1